阿洛斯STG-AT01型微量水蒸气发生器

1 产品简介
     本产品设计用于蒸发uL/min级的水，并将其混合到载气中，形成浓度均匀的混合气体。相对于传统鼓泡法(bubbler)可调性和稳定性不足的缺点，STG-AT01所得到的水气浓度连续稳定，而且线性可调。本产品包含三个部分：（1）精密微量泵；（2）CEM3000型可控蒸发器；(3)载气流量计，确保从水计量、水蒸发、载气计量、水气载气混合、输出防冷凝等每一个步骤都受控。

2 规格参数
（1）蒸发量 uL/min：1-100
（2）流量总量精度%：优于±1
（3）流量波动%：优于±2
（4）输出温度℃：≤200
（5）较大耐压 bar：15
（6）功率 kW：0.6 @220VAC
（7）输出接口：Ф6直管
（8）外形尺寸mm：400*260*250
（9）净重 kg：5
（10）可加装配件：已内置预热混合器